ULSI 器件、电路与系统

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1.概论 1

1.1 高速发展的ULSI技术 1

1.2 信息技术的发展是ULSI发展的动力 4

1.3 ULSI发展的两个主要方向 6

1.4 新一代ULSI器件和集成系统芯片的新兴(emerging)技术 11

1.5 关于本书 15

参考文献 16

2.深亚微米器件的结构与物理 17

2.1 引言 17

2.2 微小MOSFET中的一些物理效应 24

2.3 亚微米、深亚微米器件结构 50

2.4 SOI CMOS 70

2.5 深亚微米ULSI MOSFET设计 83

2.6 小结 99

参考文献 100

3.超大规模集成电路中的互连线延时 108

3.1 互连线尺寸的缩小及其影响 108

3.2 互连线延时的基本计算方法 111

3.3 改善互连线延时的方法 117

3.4 高速超大规模集成电路中互连线延时的分析和近似计算 130

3.5 包括互连线在内的数字CMOS电路的线性RC延时模型 145

3.6 MOS管栅中信号的传播延时效应 155

3.7 未来的互连线技术 163

参考文献 170

4.系统集成中的微处理器 176