国外洁净技术

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目录 1

1．洁净工艺及其在国外的发展概况 1

2．洁净室和局部净化设备的设计及其措施 7

3．三菱空气净化装置 32

4．富士通洁净工作台及其应用 48

5．日立无尘无菌装置 56

6．空气净化装置自动运转的控制 64

7．微小尘埃自动计数装置 72

8．微电子器件厂的净化问题 76

9．超洁室的颗粒浓度 81

10．半导体工业里的环境管理 87

11．净化室过滤器的特性——法国国家应用化学 91

研究所的测试设备 91

12．英联邦的净化室技术 100