微机械的制造与应用

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目录 1

第一章微机械的开发背景和制造技术基础 1

第一节微机械的开发背景 1

第二节硅材料的机械特性 5

第三节微机械的通用加工技术 9

第二章微机械的制造和应用实例 25

第一节微型压力传感器 25

第二节微型加速计 30

第三节全集成气相色谱分析系统 34

第四节墨水喷嘴阵列 39

第五节光纤耦合器和光集成器件 43

第六节微型冷却器 46

第七节硅扭转镜 49

第八节光调制器阵列 54

第九节微开关 62

第十节热印刷头 69

第十一节微型机械手 72

第十二节微型涡轮机 77

参考文献 81