硅材料质量与硅器件工艺

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目录 1

1．国外半导体硅单晶及其质量上海有色金属研究所夏锦禄 1

2．硅晶片的切磨抛工艺中国科学院上海冶金研究所王自筠 12

3．硅烷外延复旦大学张冠生 23

4．诱生缺陷与硅器件性能中国科学院上海冶金研究所杨传铮田佩兰 34

5．杂质吸收效应上海半导体器件研究所王儒全 72

6．硅－二氧化硅界面态复旦大学王迅 82

7．硅材料测试方法的几点改进上海科学技术大学曹泽淳 92

8．汞探针容－压法硅外延测试上海元件五厂、复旦大学包宗明 98

9．汞探针C-V测试在硅外延生产及元件工艺中的作用上海元件五厂、复旦大学包宗明 104

10．扩展电阻法的基本原理及其应用复旦大学张敬海 111

11．X射线貌相术及其在半导体材料和器件中的应用中国科学院上海冶金研究所杨传铮 125