高端集成电路制造工艺丛书 等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用

系统性回顾了过去半个世纪干法蚀刻技术的演变，深入介绍了该技术的基本机理，在逻辑产品和闪存产品中的具体应用以及对于逻辑电路可靠性影响的系统分析。同时针对特殊气体和特种材料的蚀刻应用进行了展望；最后以...

飞秒激光与等离子体相互作用的解析理论

从一组基本方程出发，全面系统地研究飞秒激光与物质（主要是等离子体）相互作用的各种物理机制。由于所用的基本方程是相对论性的，可用以讨论相对论强激光，然而对于弱光，这些方程也同样适用。近年来全世界以大学为.....

等离子体放电与材料工艺原理 第2版

本书反映了等离子体物理相关领域最新的研究进展，深入阐述了等离子体物理和化学的基本原理。书中应用基本理论来分析各种常见等离子体源的放电状态，包括计算等离子体参数及分析等离子体参数与控制参数的相关关...

等离子体流动控制与辅助燃烧

介绍了等离子体流动控制和助燃的概念、历史、应用领域、研究方法。重点阐述了表面介质阻挡放电流体力学仿真的模型、计算方法及其与空气动力学仿真的松耦合计算方法，利用该方法研究了等离子体的单向体积力、...

高速飞行器等离子体鞘套电磁波传播理论与通信技术

高速飞行器引起等离子鞘套与其带来的”黑障”问题，是困扰航天领域几十年的难题。本书主要研究高速飞行器等离子体鞘套电磁波传播理论与通信技术，主要内容涵盖了高速飞行器等离子鞘套问题的产生、电波传播和通...

中国核科学技术发展进展报告 第5卷：中国核学会2017年学术年会论文集 第7册 计算物理 核物理 粒子加速器 核聚变与等离子体物理 脉冲功率技术及其应用 核工程力学

装备IETM工程与管理

装备器材保障网络设计与优化

高端装备工业设计创新研究与实践

岩土工程施工技术与装备新进展 第二届全国岩土工程施工技术与装备创新论坛论文集

本论文集是为第二次全国岩土工程施工创新技术会议召开而出版的会议论文集，共预计收稿50篇，交流岩土工程施工技术方面的一些最新的实践成果，主要内容包括有基坑工程、基础工程、软土工程、地基处理等各个方面，以...