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微纳尺度制造工程 英文版
(美)坎贝尔著2010 年出版638 页ISBN:9787121118043本书系统地介绍了微电子制造科学原理与工程技术,覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺,包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发、气相外延生长、溅射和化学气相淀积等。本书新...
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微纳尺度通道流动理论及应用
林建忠,包福兵,张凯等著2010 年出版274 页ISBN:9787030264749本书介绍了微纳尺度通道流动研究的理论价值和实际应用意义;分析了用于微纳尺度通道流场研究的基本方程-Burnett方程及其该方程的稳定性特征;探讨了微纳尺度下典型流场的Couette流和Poiseuille流的流动特征和...
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功能新材料及生命体中的微纳结构
朱传凤,商广义著2010 年出版251 页ISBN:9787030268563微纳结构是生命体共有的、基本的最小基元。本书从不同角度,展示了微纳技术在生命科学领域的应用进展。内容涉及许多专利性质的方法、实验技巧,是作者多年从事科研事业的结晶。巧用Phase信息研究生命体中的微...
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激光焊接与切割质量控制
陈武柱著2010 年出版252 页ISBN:9787111309222本书以作者在激光焊接与切割领域的研究和应用成果为基础,论述控制激光焊接与切割质量的工艺措施、自动控制技术及其基本原理。