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光学投影曝光微纳加工技术
姚汉民,胡松,邢廷文著2006 年出版285 页ISBN:7563916695本书是“电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著”之一。书中系列介绍主流光刻技术——光学投影光刻的工作原理、系统组成、应用实例和发展前景,特别详细介绍了投影光刻物镜、掩模硅片对准、激光定位工...
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聚焦离子束微纳加工技术
顾文琪,马向国,李文萍著2006 年出版344 页ISBN:7563916903本书是“电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著”之一。书中重点讲述聚焦离子束的系统结构,包括离子源、离子光柱体和控制系统;工作原理;关键技术;装置发展状况和应用实例,内容极具科技前沿性及前瞻性。本...
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