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微电子技术工程 材料、工艺与测试
刘玉岭等编著2004 年出版649 页ISBN：7120000217本书介绍了微电子器件衬底材料性能、加工工艺与测试技术。全书共分15章，内容涉及硅单晶性质与加工技术、外延、氧化、扩散、制版、图形转移、刻蚀、多层布线、封装、键合、微机械加工及检测技术。...
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建筑环境与设备工程实验及测试技术
王智伟，杨振耀主编2004 年出版334 页ISBN：7030125495本书着重阐述建筑环境与设备工程中的供热、通风、空调、锅炉、制冷等各项实验及测试技术。主要内容包括：在建筑环境与设备工程实验及测试技术中，常用的各种测量仪器仪表的测量参数、结构与原理；测量误差的分析...
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