古画迷踪

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微惯性仪表 微机械加速度计

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微环境生理概论

微机电系统

让生命微微笑

微传感器与微执行器全书

本书是一部关于微机械系统方面的重要论著和首选技术参考书，全书共分九章，几乎涉及MEMS技术的所有研究领域，畅述了各个领域中MEMS相关的基本原理，并在此基础上，对典型器件和系，统的设计与工艺进行了详细的介绍。特...

微系统技术

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硅微机械传感器

面向微系统芯片的建模方法

微机械电子系统及其应用