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光刻技术是所有微纳器件制造的核心技术。在集成电路制造中，正是由于光刻技术的不断提高才使得摩尔定律得以继续。本书覆盖现代光刻技术的重要方面，包括设备、材料、仿真（计算光刻）和工艺。在设备部分，对业界使用...

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车辆模型 【文化科学教育体育】

本书为高中校本教材。教材围绕车辆模型的设计、制作和竞技展开，结合实例详细介绍了车辆模型的设计方法、制作材料与工具，以及车辆模型竞技运动，学生从中可以学到有关设计、机械、电子等方面的知识。书稿观点正...

数据处理及模型化方法 【天文地球】