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面对等离子体钨基复合材料的制备及其性能研究
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高端集成电路制造工艺丛书 等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用
张海洋等编著2018 年出版376 页ISBN:9787302489597系统性回顾了过去半个世纪干法蚀刻技术的演变,深入介绍了该技术的基本机理,在逻辑产品和闪存产品中的具体应用以及对于逻辑电路可靠性影响的系统分析。同时针对特殊气体和特种材料的蚀刻应用进行了展望;最后以...
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低温等离子体表面修饰技术在催化剂材料制备中的应用
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电感耦合等离子体质谱原理和应用
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等离子工艺与设备在冶炼和铸造生产中的应用
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