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微传感器、微机电系统和灵巧器件 【工业技术】
加德纳(Gardner,J.W.),瓦拉旦(Varadan,V.K.),韦德尔卡姆(Wadelkarim,O.A.)著2004 年出版505 页ISBN:7302081220微传感器、微机电系统(MEMS,micro-electro-mechanical systems)正在对半导体工业产生革命性的作用。微系统(system-on-a-chip)将微电子电路和微执行器结合在一起,形成有广泛应用领域的新的研究热点。本书系统介绍...
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