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同等学力人员申请硕士学位管理科学与工程学科综合水平全国统一考试大纲及指南 第2版 【社会科学】
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微电子制造科学原理与工程技术 【工业技术】
(美)坎贝尔(Campbell,S.A.)著(明尼苏达大学电子与计算机工程系)2003 年出版604 页ISBN:7505386263本书系统地介绍了微电子制造科学原理与工程技术,覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺,包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发、气相外延生长、溅射和化学气相淀积等。对每一...
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