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MEMS材料与工艺手册 【工业技术】
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杨川,高国庆,崔国栋编著;吴大兴审2014 年出版281 页ISBN:9787122209276本教材详细介绍各类表面技术的基本原理,结合典型工艺分析,如何利用基本原理设计表面技术工艺。同时将各类典型表面技术核心内容列于书中,供学生今后分析、应用时参考。书中介绍了一些以往教材中并不介绍的内容...
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