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微纳米加工技术及其应用 【工业技术】
崔铮著2005 年出版295 页ISBN:7040168804本书旨在综合介绍近年来微纳米加工技术的进展。全书共分为5章以微纳米加工的关键技术为主线,即微纳米光刻技术,其中包括光学曝光加工,电子束曝光加工,聚焦离子束加工,微纳米图形转移技术,微纳米图形复制技术,......
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