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微电子制造科学原理与工程技术 【工业技术】
（美）Stephen A. Campbell著；曾莹等译（明尼苏达大学）2003 年出版613 页ISBN：7505383132本书系统地介绍了微电子制造科学原理与工程技术，覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺，包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发、气相外延生长、溅射和化学气相淀积等。对每一...
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微电子制造科学原理与工程技术 【工业技术】
（美）坎贝尔（Campbell，S.A.）著（明尼苏达大学电子与计算机工程系）2003 年出版604 页ISBN：7505386263本书系统地介绍了微电子制造科学原理与工程技术，覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺，包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发、气相外延生长、溅射和化学气相淀积等。对每一...
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机械制造工艺及计算机辅助工艺设计 【工业技术】
曾淑畅主编2003 年出版233 页ISBN：704012629X本书是普通高等教育“十五”国家级规划教材。为了适应现代制造工业的发展需求，本书编写时，以《教育部关于加强高职高专教育人才培养工作意见》为指导，结合作者多年从事高职高专教育、科研的经验和体会，确定以下...
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