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集束型晶圆制造装备调度及其优化算法 【工业技术】
李林瑛,卢睿著2017 年出版328 页ISBN:9787121312274本书以集束型晶圆制造装备为研究对象,在全面分析其调度特点及调度方法的基础上,分析集束型装备各类调度问题,运用优化调度方法设计了相应的求解方案。本书提出的方法和技术将为广大企业、科研院所、高等院校进...
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