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MEMS技术及其应用 【工业技术】

国家自然科学基金资助课题哈尔滨工业大学研究成果专著出版基金资助出版:本书共有八章，在概述微机电技术(MEMS)的发展背景、现状及应用前景的基础上，介绍了MEMS基本理论，随后对MEMS相关工艺做了详尽的讲述。...