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多晶硅和石英玻璃的联合制备法 【工业技术】
刘寄声著2008 年出版161 页ISBN:7502444033本书介绍了“多晶硅和石英玻璃联合制备法”的工艺过程、主要设备、操作要点及影响产品质量的因素,提出了降低多晶硅生产成本的几个途径,并总结了相关安全生产的知识。...
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