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  • 微电子制造科学原理工程技术 【工业技术】

    (美)坎贝尔(Campbell,S.A.)著(明尼苏达大学电子计算机工程系)2003 年出版604 页ISBN:7505386263

    本书系统地介绍了微电子制造科学原理工程技术,覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺,包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发、气相外延生长、溅射和化学气相淀积等。对每一...

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    赵小明主编2003 年出版287 页ISBN:7030120388

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