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三维结构MOS晶体管技术研究 【工业技术】
张盛东著2005 年出版316 页ISBN:7040179385本书汇集了作者在三维结构MOS晶体管技术研究方面所取得的主要研究成果。内容涉及背栅、平面双栅、可分离双栅MOS以及三维集成MOS器件。在背栅器件部分,主要内容为全自对准背栅MOS晶体管制作技术研究、多晶硅...
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