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微纳米加工技术及其应用 【工业技术】
崔铮著2005 年出版295 页ISBN:7040168804本书旨在综合介绍近年来微纳米加工技术的进展。全书共分为5章以微纳米加工的关键技术为主线,即微纳米光刻技术,其中包括光学曝光加工,电子束曝光加工,聚焦离子束加工,微纳米图形转移技术,微纳米图形复制技术,......
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纳米材料与技术应用进展 第四届全国纳米材料会议论文集 proceedings of the 4th national nanomaterials conference 【工业技术】
中国材料研究学会主编2005 年出版603 页ISBN:7502438548本书及时反映了我国纳米材料科学与技术近两年来研究和技术开发方面的新进展、新成果和新动态。
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