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王权著2012 年出版131 页ISBN:9787811304367
本文主要针对氢化硅薄膜介观力学行为和耐高温压力传感器这两个问题展开了理论与实验的研究。对射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)系统进行了改造,制备了氢化硅薄膜,成功地进行了磷或硼的掺杂。用拉曼谱揭...
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韩丛耀等著2012 年出版1985 页ISBN:7305088872
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杨艳萍主编2012 年出版78 页ISBN:9787566700940
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人文讲堂丛书编辑委员会主编2012 年出版167 页ISBN:9620431692
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