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脉冲激光沉积动力学原理 【工业技术】
张端明等著2011 年出版395 页ISBN:9787030305954本书介绍了自主创新从整体上构建的包括PLD各工艺阶段的自洽动力学理论框架;并阐明各工艺阶段的物理机制。在烧蚀阶段全面考虑韧致辐射和光致电离效应,建立含蒸发、热源和动态靶材吸收率综合烧蚀模型,还全面描...
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