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金刚石膜制备与物性研究及应用 【工业技术】
吴春雷著2019 年出版164 页ISBN:9787502477974本书系统研究了直流热阴极辉光等离子体辅助化学气象沉积金刚石膜的过程中,温度、压强、甲烷氢气流量比等实验参数对金刚石膜形貌、晶体结构和质量的影响;以甲烷、氢气为工作气体,研究低温低压下纳米金刚石膜的...
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