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微电子制造科学原理与工程技术 【工业技术】
（美）Stephen A. Campbell著；曾莹等译（明尼苏达大学）2003 年出版613 页ISBN：7505383132本书系统地介绍了微电子制造科学原理与工程技术，覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺，包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发、气相外延生长、溅射和化学气相淀积等。对每一...
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