超快激光微纳加工 原理、技术与应用

本书详细介绍了飞秒激光微纳加工技术所涉及的原理及相关应用，共有八个章节。第一章主要介绍飞秒激光微纳加工的原理，包括飞秒激光与物质（介质）相互作用的原理，飞秒激光在透明介质中的传输理论，飞秒激光微纳加工.....

瞬息万变 飞秒激光技术和超快过程研究

微纳加工科学原理

本书基于作者长期从事微纳加工技术、带电粒子光学和光电子学等方面的科研和教学工作积累，系统、全面地论述关于现代微米与纳米微细加工的科学原理。...

飞秒激光固体材料表面微纳结构制备及其功能特性

主要内容包括：开展了飞秒激光诱导金属表面亚波长周期性条纹结构、飞秒激光诱导硅表面微纳结构及其光学特性以及飞秒激光金属表面着色技术等方面的研究。进一步，利用飞秒激光制备出宽光波段高吸收“黑金属”，并...

微纳材料及加工前沿方向研讨会论文集

光学投影曝光微纳加工技术

本书是“电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著”之一。书中系列介绍主流光刻技术——光学投影光刻的工作原理、系统组成、应用实例和发展前景，特别详细介绍了投影光刻物镜、掩模硅片对准、激光定位工...

聚焦离子束微纳加工技术

本书是“电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著”之一。书中重点讲述聚焦离子束的系统结构，包括离子源、离子光柱体和控制系统；工作原理；关键技术；装置发展状况和应用实例，内容极具科技前沿性及前瞻性。本...

微纳加工中的精密工件台技术

本书重点讲述微纳加工关键部件——精密工件台的结构、原理和主要技术，以及通过精密工件台提高加工精度和生产效率的有效方法。书中对精密测量技术、驱动技术、直线导向技术、微位移技术、精密工件台控制系统...

电子束曝光微纳加工技术

本书作者长期从事电子束曝光技术的研究和装备的研制，积累了丰富的经验。本书系统地介绍了电子束曝光技术的发展历史和原理、系统的组成和分类、应用和发展前景，同时，详细介绍了多种先进的电子束曝光机的性能和...

切削振动和加工不稳定性控制 精密微纳加工的时频分析方法

本书介绍了切削动力学和不稳定加工的主要特点，引入了切削振动和加工不稳定控制应用到的基本物理原理，在此基础上重点介绍了自适应滤波器和滤波-xLMS算法、时频分析方法、小波滤波器组原理与应用、动态不稳定...