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微纳电子学建模案例研究 【工业技术】
李文石著；赵鹤鸣审2016 年出版254 页ISBN：9787567217591基于数学建模研究方法学的宏线，全景贯穿微纳电子学的交叉学科内涵与产业分工链条，通过举要108个建模案例，关照材料优化提纯，触摸信号计算特征，浓缩MOS管物理解析，聚焦IC设计技巧，指归IC工艺化学，量化IC封装难点，......
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微纳尺度制造工程 英文版 【工业技术】
（美）坎贝尔著2010 年出版638 页ISBN：9787121118043本书系统地介绍了微电子制造科学原理与工程技术，覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺，包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发、气相外延生长、溅射和化学气相淀积等。本书新...
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聚焦离子束微纳加工技术 【工业技术】
顾文琪，马向国，李文萍著2006 年出版344 页ISBN：7563916903本书是“电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著”之一。书中重点讲述聚焦离子束的系统结构，包括离子源、离子光柱体和控制系统；工作原理；关键技术；装置发展状况和应用实例，内容极具科技前沿性及前瞻性。本...
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矿用防灭火三相泡沫在采空区中的流动特性与应用 【工业技术】
时国庆著2012 年出版133 页ISBN：9787564616212煤炭自燃是煤炭企业面临的主要灾害之一，做好防灭火工作对矿井的安全生产至关重要。三相泡沫能集灌浆、注氮、喷洒阻化剂的防灭火优势于一体，近年来在煤矿防灭火工作中逐步得到广泛应用。本书研究了矿用三相泡...
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微纳加工中的精密工件台技术 【工业技术】
刘俊标，薛虹，顾文琪著2004 年出版278 页ISBN：7563914323本书重点讲述微纳加工关键部件——精密工件台的结构、原理和主要技术，以及通过精密工件台提高加工精度和生产效率的有效方法。书中对精密测量技术、驱动技术、直线导向技术、微位移技术、精密工件台控制系统...
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基于机械-化学方法的微纳制造技术 【工业技术】
史立秋著2014 年出版93 页ISBN：9787121237126随着电子器件越来越小型化，如何方便、可控地在单晶硅表面设计和构筑具有特定功能和特性的跨尺度微纳复合结构一直是当今微纳制造领域中的热点和难点问题。本书针对该问题，提出“基于机械-化学方法的硅表面功...