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集成电路工艺中的化学品 【工业技术】
戴猷元,张瑾编2007 年出版188 页ISBN:7502599347本书介绍了集成电路制作的技术工艺及相关化学品,化学反应机理,化学品的物化性质,应用,毒性等信息。
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